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MKS壓力控制器不同的型號有各種的優(yōu)勢特點，下面是我們?yōu)槟鷰淼拿绹鳰KS壓力控制器PPCA產品特征，歡迎您繼續(xù)往下閱讀！
1、美國MKS壓力控制器PPCA產品介紹
智能集成壓力控制解決方案可為困難的CVD工藝和一般真空應用提供精確控制。他們獨特的設計非常適合需要高性能和簡單集成到工藝工具中的應用。節(jié)氣門組件內的所有控制、通信和驅動電路無需安裝單獨的電子模塊。集成壓力控制器與真空室一起使用，以控制進入和離開真空室的氣流。MKS集成壓力控制器包括Baratron®壓力測量、電磁流量控制閥和集成控制電子設備。PPCA壓力控制器為關鍵工藝應用提供壓力測量和控制，例如背面晶圓壓力控制、傳輸室壓力控制和工藝氣體面板壓力平衡。該裝置可配置用于上游（入口）或下游（出口）壓力控制。這是在一個緊湊的封裝中完成的，與以前完成任務所需的多組件系統(tǒng)相比，節(jié)省了關鍵空間。
2、美國MKS壓力控制器PPCA產品特征
PPCA利用MKS Instruments領先的Baratron®電容壓力計技術進行壓力測量。它與比例控制閥和最新的控制電子設備集成在一起，提供快速、準確的壓力控制，并通過關鍵流量監(jiān)控作為系統(tǒng)診斷。PPCA可配置為10至1000 Torr滿量程壓力，控制范圍為滿量程的5至100%。這種可配置性使該器件適用于傳輸室壓力控制、關鍵背面晶圓壓力控制以及運行排氣壓力控制應用。根據工藝條件，控制閥可配置為5至5000 sccm滿量程的滿量程流量。PPCA配備數(shù)字（DeviceNet™或EtherCAT®）I/O，可直接集成到新應用或改造應用中。該設備的微型USB用戶界面增強了現(xiàn)場調節(jié)和組件診斷功能，幾乎可以通過任何帶有網絡瀏覽器的PC進行訪問。
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3、美國MKS壓力控制器PPCA產品模擬輸出
1249可由±15 VDC或24 VDC的常用電源供電，功耗不到一瓦（不包括閥門）。它接受來自PC、PLC或其他系統(tǒng)控制器的0-5 VDC、0-10 VDC或4-20 mA控制信號輸入。1249的輸出信號經過定制，可滿足148或248比例控制閥的要求。如果施加到1249的電源為±15 VDC或+30 VDC，則1249還可用于驅動154閥。
4、美國MKS壓力控制器PPCA產品特點
①背面晶圓冷卻
②對設定點的快速響應，超調最小
③金屬密封、潔凈室制造的裝置滿足關鍵的高純度應用需求
④溫度補償可在其工作溫度范圍內保持器件精度
5、美國MKS壓力控制器PPCA產品規(guī)格
①壓力范圍：10、20、50、100、200、500或1000 Torr滿量程
②流量：50、200、1000、5000、10000、20000、30000、50000（sccm）
③壓力分辨率：0.1托
④配件類型：Swagelok®4 VCR外螺紋
⑤壓力控制精度：讀數(shù)的±1.0%（≥10%滿量程）滿量程的±0.2%（小于10%滿量程）
⑥傳感器超壓限制：所有量程均為2x滿量程
⑦最大壓差：45磅/平方英寸
⑧爆破壓力：1500磅/平方英寸
⑨控制方式：上游或下游
⑩壓力測量精度：讀數(shù)的±0.5%
?零溫度系數(shù)：滿量程的±0.02%/°C
?跨度溫度系數(shù)：±0.04%讀數(shù)/°C
?控制范圍：大于滿量程的5至100%
?典型響應時間：小于1.0秒（不包括系統(tǒng)時間常數(shù)）
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